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2D晶体管突破50nm间距,芯片制造迎来新纪元

2026-06-16 00:31 | TechPowerUp ...

芯片制造领域又迎来一次里程碑式的突破。在本周的IEEE/JSAP VLSI技术与电路研讨会上,imec联合ASML、台积电展示了基于2D材料的n型和p型场效应晶体管(FET),首次在300mm晶圆上实现了50nm接触多晶硅间距(CPP)。这可不是实验室里的孤芳自赏,而是从实验室走向晶圆厂的关键一步。

2D材料:芯片微缩的“终极武器”

传统硅基晶体管已经逼近物理极限,漏电、发热、量子隧穿效应等问题让工程师们头疼不已。而2D过渡金属二硫化物(TMDs),比如二硫化钼(MoS2)、二硫化钨(WS2)和二硒化钨(WSe2),凭借原子级的超薄沟道,在保持良好载流子迁移率的同时,还能实现极佳的静电控制——这意味着可以做出更小、更快、更省电的晶体管。

但此前2D材料一直是个“实验室明星”,一到量产就掉链子。原因很简单:没有一套能在300mm标准晶圆上稳定制造n型和p型TMD晶体管的工艺流程。这次imec团队用MoS2做nFET,用WS2或WSe2做pFET,成功在50nm CPP下跑出了漂亮的电流-电压曲线,相当于给2D材料发了张“工业入场券”。

为什么50nm间距很重要?

50nm CPP是什么概念?目前最先进的3nm制程中,CPP大约在45-50nm左右。也就是说,2D晶体管的集成密度已经追上了硅基主流水准。而且2D材料可以直接用于后段制程(BEOL)和晶圆背面集成,这意味着芯片设计者可以把逻辑、存储、I/O像乐高一样堆叠起来,彻底打破传统2D平面布局的瓶颈。

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想象一下:未来的CPU可能不再是单一的硅片,而是由多层2D材料堆叠而成的“千层蛋糕”,每层都有自己的晶体管和互连,密度和能效都指数级提升。这简直是为AI加速器、高性能计算和移动芯片量身定做的方案。

三方联手:从设备到工艺的全链条突破

这次合作堪称“梦幻组合”:ASML提供最先进的极紫外光刻(EUV)设备,确保50nm间距的精准图案化;台积电贡献量产经验,把实验室工艺转化为可重复的制造步骤;imec则发挥其材料与集成专长,搞定2D材料的生长、转移和器件优化。三方各司其职,缺一不可。

值得一提的是,imec在去年就展示过2D材料pFET的初步成果,但当时性能和尺寸都还不够看。这次直接从“能用”升级到“好用”,说明技术迭代速度远超预期。按照这个节奏,2D材料晶体管在2028年前后进入量产并非痴人说梦。

当然,挑战依然存在。比如2D材料的晶圆级均匀性、接触电阻、可靠性等还需要进一步优化。但这次50nm CPp的突破,就像当年FinFET从平面走向3D结构一样,宣告了一个新时代的序幕。

对于普通用户来说,这可能意味着未来几年内的手机、笔记本性能会再次爆发,而且功耗更低。对于芯片从业者,这无疑是一剂强心针——摩尔定律不仅没有终结,反而在2D世界里找到了新的生命线。